НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
"МОСКОВСКИЙ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ"

Научный Центр "Износостойкость"

ГЕФЕСТ

Синтез 2D- и 3D- нанокомпозитных покрытий


Установка вакуумного магнетронного напыления PVD предназначена для нанесения микро- и нанокомпозитных как универсальных, так и функционально направленных покрытий, обеспечивающих:

  • повышение прочностных характеристик;
  • увеличение износостойкости рабочей поверхности изделия;
  • рост коррозионной и эрозионной стойкости материала в агрессивных средах;
  • уменьшение уровня адгезии за счет снижения шероховатости;
  • повышение жаростойкости деталей.

В зависимости от состава материала мишеней данная установка позволяет сформировать на поверхности изделий многослойные многокомпонентные покрытия толщиной до 70 мкм. Для мишеней используется широкий выбор немагнитных материалов.

Планетарная конструкция механизма карусели реализует вращение обрабатываемых изделий в трех режимах (вращение по оси камеры, вращение образца вокруг своей оси, планетарное вращение).

Трехканальная подача газа в камеру обеспечивает возможность синтеза углеродосодержащих покрытий, а также нитридов, оксидов, карбонитридов и других соединений на поверхностях изделий.

 

Технические характеристики

Габаритная длина изделий

до 1200 мм

Число позиций планетарного механизма

16

Количество магнетронов

4 шт.

Источник ионов

1 шт.

Система питания:

  • потенциал смещения

до 24 кВт/1350 В

  • магнетронов

дуальный режим 12 кВт/DC(AC)