ГЕФЕСТ
Синтез 2D- и 3D-нанокомпозитных покрытий
Установка вакуумного магнетронного напыления PVD предназначена для нанесения микро- и нанокомпозитных как универсальных, так и функционально направленных покрытий, обеспечивающих:
|
В зависимости от состава материала мишеней данная установка позволяет сформировать на поверхности изделий многослойные многокомпонентные покрытия толщиной до 70 мкм. Для мишеней используется широкий выбор немагнитных материалов. Планетарная конструкция механизма карусели реализует вращение обрабатываемых изделий в трех режимах (вращение по оси камеры, вращение образца вокруг своей оси, планетарное вращение). Трехканальная подача газа в камеру обеспечивает возможность синтеза углеродосодержащих покрытий, а также нитридов, оксидов, карбонитридов и других соединений на поверхностях изделий. |
Технические характеристики |
|
Габаритная длина изделий |
до 1200 мм |
Число позиций планетарного механизма |
16 |
Количество магнетронов |
4 шт. |
Источник ионов |
1 шт. |
Система питания: |
|
|
до 24 кВт/1350 В |
|
дуальный режим 12 кВт/DC(AC) |