НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
"МОСКОВСКИЙ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ"

Научный Центр "Износостойкость"

ГЕФЕСТ+

Магнетронное и плазменно-дуговое осаждение покрытий PVD


Наличие двух типов источников плазмы (магнетронных и дуговых) расширяет выбор распыляемых материалов, что в свою очередь увеличивает ряд функциональных свойств будущих покрытий, обеспечивая:

  • повышение прочностных характеристик;
  • увеличение износостойкости рабочей поверхности изделия;
  • рост коррозионной и эрозионной стойкости материала в агрессивных средах;
  • снижение уровня шероховатости;
  • повышение жаростойкости деталей;
  • уменьшение коэффициента трения.

В зависимости от состава материала мишеней данная установка позволяет сформировать на поверхности изделий многослойные многокомпонентные покрытия толщиной от 50 нм до 70 мкм. Для использования мишеней доступен широкий выбор материалов.

Планетарная конструкция механизма карусели реализует вращение обрабатываемых изделий в трех режимах (вращение по оси камеры, вращение образца вокруг своей оси, планетарное вращение).

Трехканальная подача газа в камеру обеспечивает возможность синтеза углеродосодержащих покрытий, а также нитридов, оксидов, карбонитридов и других соединений на поверхностях изделий.

Объем камеры позволяет модифицировать крупногабаритные изделия (до 1400 нм).

 

Технические характеристики

Габаритная длина изделий

до 1400 мм

Число позиций планетарного механизма

16

Количество многокатодных магнетронов

4 шт.

Количество катодов в магнетроне

5 шт.

Количество дуговых испарителей

2 шт.

Система питания:

  • потенциал смещения

до 36 кВт/1500 В

  • магнетронов

дуальный режим 18 кВт/DC(AC)

  • дуговых испарителей

15 кВт