ГЕФЕСТ+
Магнетронное и плазменно-дуговое осаждение покрытий PVD
Наличие двух типов источников плазмы (магнетронных и дуговых) расширяет выбор распыляемых материалов, что в свою очередь увеличивает ряд функциональных свойств будущих покрытий, обеспечивая:
|
В зависимости от состава материала мишеней данная установка позволяет сформировать на поверхности изделий многослойные многокомпонентные покрытия толщиной от 50 нм до 70 мкм. Для использования мишеней доступен широкий выбор материалов. Планетарная конструкция механизма карусели реализует вращение обрабатываемых изделий в трех режимах (вращение по оси камеры, вращение образца вокруг своей оси, планетарное вращение). Трехканальная подача газа в камеру обеспечивает возможность синтеза углеродосодержащих покрытий, а также нитридов, оксидов, карбонитридов и других соединений на поверхностях изделий. Объем камеры позволяет модифицировать крупногабаритные изделия (до 1400 нм). |
Технические характеристики |
|
Габаритная длина изделий |
до 1400 мм |
Число позиций планетарного механизма |
16 |
Количество многокатодных магнетронов |
4 шт. |
Количество катодов в магнетроне |
5 шт. |
Количество дуговых испарителей |
2 шт. |
Система питания: |
|
|
до 36 кВт/1500 В |
|
дуальный режим 18 кВт/DC(AC) |
|
15 кВт |