Исследование морфологии и шероховатости поверхности
Морфология
- сканирующего электронного микроскопа MIRA 3 LMU с катодом с полевой эмиссией (Tescan);
- инвертированного микроскопа отраженного света Axiovert 25 CA (Carl Zeiss Mikroskopie);
- портативного микроскопа МПМ-2У-КС (НПК «МИКРОКОН»);
- атомно-силового микроскопа Wide Scan AFM (Nanosurf AG).
- механического профилометра Dektak 150 (Veeco Instruments Inc.) в режиме 3D-картирования.
Шероховатость
- с использованием механического профилометра Dektak 150 (Veeco Instruments Inc.);
- на крупногабаритных изделиях - с использованием портативного контактного профилометра Surftest SJ 210 (Mitutoyo) или TR-200 (TIME Group Inc.).