НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
"МОСКОВСКИЙ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ"

Научный Центр "Износостойкость"

ГЕФЕСТ-18-4М

Магнетронное нанесение покрытий на крупногабаритные элементы энергетического оборудования


Установка вакуумного магнетронного напыления PVD используется для нанесения микро- и нанокомпозитных как универсальных, так и функционально направленных покрытий, обеспечивающих:

  • повышение прочностных характеристик;
  • увеличение износостойкости рабочей поверхности изделия;
  • рост коррозионной и эрозионной стойкости материала в агрессивных средах;
  • уменьшение уровня адгезии за счет снижения шероховатости;
  • повышение жаростойкости деталей.

Данный технологический комплекс специально разработан для формирования покрытий на рабочей поверхности крупногабаритных элементов современного энергетического оборудования таких, как: шиберов задвижек шиберных (DN 1200, включительно), штоков, валов, золотников, а также других типов крупногабаритных изделий, например, декоративного назначения.

В зависимости от состава материала мишеней данный модуль позволяет сформировать на поверхности изделий многослойные многокомпонентные покрытия толщиной до 70 мкм. Для мишеней используется широкий выбор немагнитных материалов.

Трехканальная подача газа в камеру обеспечивает возможность синтеза углеродосодержащих покрытий, а также нитридов, оксидов, карбонитридов и других соединений на поверхностях изделий.

Технические характеристики
Габаритная длина изделий до 3200 мм
Область равномерного покрытия по высоте 3000 мм
Количество магнетронов 4 шт.
Система питания:
  • потенциал смещения
до 40 кВт/1500 В
  • магнетронов
дуальный режим 60 кВт/DC(AC)