ГЕФЕСТ-18-4М
Магнетронное нанесение покрытий на крупногабаритные элементы энергетического оборудования
Установка вакуумного магнетронного напыления PVD используется для нанесения микро- и нанокомпозитных как универсальных, так и функционально направленных покрытий, обеспечивающих:
|
Данный технологический комплекс специально разработан для формирования покрытий на рабочей поверхности крупногабаритных элементов современного энергетического оборудования таких, как: шиберов задвижек шиберных (DN 1200, включительно), штоков, валов, золотников, а также других типов крупногабаритных изделий, например, декоративного назначения. В зависимости от состава материала мишеней данный модуль позволяет сформировать на поверхности изделий многослойные многокомпонентные покрытия толщиной до 70 мкм. Для мишеней используется широкий выбор немагнитных материалов. Трехканальная подача газа в камеру обеспечивает возможность синтеза углеродосодержащих покрытий, а также нитридов, оксидов, карбонитридов и других соединений на поверхностях изделий. |
Технические характеристики | |
Габаритная длина изделий | до 3200 мм |
Область равномерного покрытия по высоте | 3000 мм |
Количество магнетронов | 4 шт. |
Система питания: | |
|
до 40 кВт/1500 В |
|
дуальный режим 60 кВт/DC(AC) |